高纵横比的弹性梁
纵横比高于 20:1
提供良好的设计灵活性
在运动方向的刚度是其他自由度方向刚度的千分之一或更软
可确保精确的运动控制
微机电驱动马达是基于梳齿驱动结构
梳齿结构是电容驱动器,利用的静电力来驱动两极的导电梳齿
梳齿的排列能够保证彼此之间不会接触
当施加电压时,两极梳齿结构会相互吸引,从而产生运动
静电力( 和运动) 是与两极梳齿之间的电容变化成正比的
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