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技术

微电机


单晶硅的材料强度比钢铁强10倍,而且拥有良好的弹性和稳定性

  • 产品的结构很坚固,重复性好,构造精确


加工精度 < 1 微米

  • 从而提供了移动平台和基准平台之间可以几乎无误差对接


高纵横比的弹性梁

  • 纵横比高于 20:1
  • 提供良好的设计灵活性


在运动方向的刚度是其他自由度方向刚度的千分之一或更软

  • 可确保精确的运动控制

 
 
 




微机电驱动马达是基于梳齿驱动结构

  • 梳齿结构是电容驱动器,利用的静电力来驱动两极的导电梳齿
  • 梳齿的排列能够保证彼此之间不会接触
  • 当施加电压时,两极梳齿结构会相互吸引,从而产生运动
  • 静电力( 和运动) 是与两极梳齿之间的电容变化成正比的